石英晶圆片是光学材料中应用广泛的,具有高纯度、低热膨胀系数、高抗拉强度、优异的光传输和独特的电气性能等特点。因此,石英晶圆片广泛应用于PLC平面波导分光器芯片、MEMS、高科技半导体等领域。
我们公司长期生产厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ2"的高精密度石英晶圆。除了常规的Φ4英寸、Φ5英寸、Φ6英寸、Φ8英寸和Φ12英寸外,我们还提供其他尺寸的定制服务。石英晶圆通常采用Corning、Nikon、Heraeus等材质,如需定制其他材质的石英晶圆,请与我们的销售人员联系。
由于其优异的光学性能,石英晶片也广泛用于光学和光子学应用。它们在紫外、可见和近红外光谱中具有高透明度,适用于激光、光谱和成像系统中使用的透镜、窗口和棱镜等光学元件。石英晶片表现出小的光学吸收和散射,能够实现高效的光传输。此外,其低热膨胀系数确保了在较宽温度范围内的光学稳定性,使其成为苛刻光学应用的理想选择。
规格 |
4 inch |
5 inch |
6 inch |
8 inch |
12 inch |
直径 |
100 ± 0.1 mm |
125 ± 0.1 mm |
150 ± 0.1 mm |
200 ± 0.1 mm |
300± 0.1 mm |
厚度 |
500 ± 5 um或定制 |
625 ± 5 um或定制 |
675 ± 5 um或定制 |
725 ± 5 um或定制 |
900± 5 um或定制 |
粗糙度 |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
翘曲度 |
≤ 10um |
≤ 10um |
≤ 10um |
≤ 10um |
≤ 10um |
平整度 |
≤ 3 um |
≤ 3 um |
≤ 3 um |
≤ 3 um |
≤ 3 um |
表面质量 |
20/10 |
20/10 |
20/10 |
20/10 |
20/10 |
形状 |
圆形, 带定位边, 带定位角 |
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倒边 |
45°, SEMI Spec; C Shape |
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材质 |
Corning, Nikon, Heraeus etc. |
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备注 |
石英晶圆可定制 |