由于其优越的透光性、极低的荧光强度、极低的膨胀系数、抗热冲击性强、的化学稳定性好、的抗刮花效果好以及极低的含碱量,玻璃晶圆广泛应用于CMOS、CCD传感器、集成电路或微机械元件封装(MEMS)、通信与数据处理、光学、电子产品、 科研等高科技产品领域。
我们公司长期生产厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ2"的高精密度玻璃晶圆。除了常规的Φ4英寸、Φ5英寸、Φ6英寸、Φ8英寸和Φ12英寸外,我们还提供其他尺寸的定制服务。玻璃晶圆通常采用Sodalime、Pyrex、Borofloat、Borosilicate (D263T)、Corning E-XG、BK7等材质,如需定制其他材质的玻璃晶圆,请与我们的销售人员联系。
在电子行业中,玻璃晶圆被用作制造集成电路(IC)和微机电系统(MEMS)等半导体器件的基板。该玻璃为薄膜沉积和电路图案化提供了稳定且惰性的表面。此外,玻璃晶圆具有出色的热性能,可在设备运行期间实现高效散热。随着电子器件尺寸不断缩小、复杂性不断增加,对厚度均匀、缺陷密度低的高质量玻璃晶圆的需求变得越来越关键。
光学应用也大大受益于玻璃晶圆,特别是在透镜、镜子和滤光片的制造中。玻璃的光学透明度和均匀性使其成为相机、望远镜和激光系统中使用的精密光学器件的理想材料。通过仔细控制玻璃晶圆的成分和厚度,制造商可以定制其光学特性,以满足光透射、色散和偏振的特定要求。
规格 |
4 inch |
5 inch |
6 inch |
8 inch |
12 inch |
直径 |
100 ± 0.1 mm |
125 ± 0.1 mm |
150 ± 0.1 mm |
200 ± 0.1 mm |
300± 0.1 mm |
厚度 |
500 ± 5 um或定制 |
625 ± 5 um或定制 |
675 ± 5 um或定制 |
725 ± 5 um或定制 |
900± 5 um或定制 |
粗糙度 |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
翘曲度 |
≤ 10um |
≤ 10um |
≤ 10um |
≤ 10um |
≤ 10um |
平整度 |
≤ 3 um |
≤ 3 um |
≤ 3 um |
≤ 3 um |
≤ 3 um |
表面质量 |
20/10 |
20/10 |
20/10 |
20/10 |
20/10 |
形状 |
圆形;带定位边;带定位角 |
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倒边 |
45°, SEMI Spec; C Shape |
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材质 |
Sodalime, Pyrex, Borofloat, Borosilicate (D263T),Corning eagle XG, BK7, and etc. |
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备注 |
玻璃晶圆可定制 |